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干式真空泵的应用范围

出处:http://www.auto-sz.com  点击:    分类新闻动态   发布:2019-5-27 9:59:48
摘要:干式真空泵是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其它的介质,而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近机械真空泵。​ 在真空泵行业,目前大多数真空泵都是用油跟水以及其它聚合物充当泵的介质,它们的主要作用是润滑、冷却和密封。但是真空泵以及组成的抽气系统出现了以下亟待解决的问题:1、泵的工作介质反流污染被抽的容器,最直接的后果就是会影响产品质量,增加泵的后期维护的成本;2、在工艺过程中的反应物质使得泵内的介质变质,从而导致泵体无法正常工作。这是目前面临的两个主要问题。


干式真空泵是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其它的介质,而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近机械真空泵。

在真空泵行业,目前大多数真空泵都是用油跟水以及其它聚合物充当泵的介质,它们的主要作用是润滑、冷却和密封。但是真空泵以及组成的抽气系统出现了以下亟待解决的问题:1、泵的工作介质反流污染被抽的容器,最直接的后果就是会影响产品质量,增加泵的后期维护的成本;2、在工艺过程中的反应物质使得泵内的介质变质,从而导致泵体无法正常工作。这是目前面临的两个主要问题。

使用干式真空泵可以达到非常好的效果,那么干式真空泵的应用范围有哪些方面呢,下面就重点介绍一下它的应用范围:

(1)干式真空泵适合用于秒速时时彩化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,防止有机溶剂造成污染;

(2)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺

(3)半导体的刻蚀工艺,这些生产工艺往往用到腐蚀性气体和研磨微粒;

(4)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,在这些工艺中,不希望微粒混入油泵中,而是排出泵外,用干式真空泵可以解决;

(5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。


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